RGA 測試

 

RGA（殘餘氣體分析儀，Residual Gas Analyzer）

傳統壓力計只能告訴你壓力變了，而 RGA 能告訴你為什麼變了。它是真空製程的「黑盒子」，幫助開發者縮短研發週期，協助生產者確保零缺陷產出。不同於一般的真空計（只能量測壓力），RGA 能量測系統中每一種殘餘氣體的分壓。無論是水氣、碳氫化合物、大氣洩漏還是製程副產品，RGA 讓您對腔體狀況一目了然。