氦氣測漏儀

此型號的技術特點

• 強大的抽氣能力： 內建高效能的真空幫浦，能快速建立測試環境，這對於講求效率的半導體零組件生產線非常重要。

• 平板電腦操控： 如圖所示，這系列支援無線平板操控。在量測大型半導體設備（Chamber）時，品管員可以拿著平板走動觀察漏點，不用一直跑回主機看數據。

• 背景值抑制： 能夠快速排掉殘餘的氦氣，減少誤判，讓連續檢測速度變快。