排氣檢測

氦氣測漏儀

氦氣測漏儀

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詳細介紹
這台儀器是 INFICON UL3000 Fab ULTRA,它是一款高階的 氦氣測漏儀 (Helium Leak Detector)。這台機器的任務就是檢查產品的「密封性」是否達到了原子級的防漏標準。這台機器利用氦氣(Helium)作為示蹤氣體。因為氦原子極小、穿透力強,且在大氣中含量極低,是尋找微小孔洞的最佳工具。
在半導體廠、真空設備製造或高科技產業中,這台機器至關重要可檢測:
  • 半導體製程: 確保反應爐(Chamber)完全密封,否則氧氣進入會導致晶圓報廢。

  • 真空零件檢驗: 檢查閥門、法蘭或焊接處是否有肉眼看不見的裂縫。

  • 氣密零件: 像是鋰電池外殼、電子零件密封件等,確保長期使用不會滲漏。