排氣檢測

  1. 排氣檢測
RGA排氣測量系統

RGA排氣測量系統

目前廠內數量為1台
RGA:Residual Gas Analysis（残餘氣體分析）測量系統.用於檢測真空系统或密封器件内部氣體成分及含量並出具檢驗結果報告。
RGA 排氣量測系統.png
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詳細介紹
排氣測量系統
RGA
1 set
設備外觀尺⼨ (公分) 120(W) x 200(D) x 200(H)
腔體真空度 < 5E-6 mbar
氦氣洩漏率 < 1E-8 mbar * l / sec
腔室最⾼加熱 200 °C
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