| 排氣測量系統 | |
| RGA | |
| 1 set | |
| 設備外觀尺⼨ (公分) | 120(W) x 200(D) x 200(H) |
| 腔體真空度 | < 5E-6 mbar |
| 氦氣洩漏率 | < 1E-8 mbar * l / sec |
| 腔室最⾼加熱 | 200 °C |
排氣檢測
RGA排氣測量系統*1 set
RGA排氣測量系統*1 set
RGA:Residual Gas Analysis（残餘氣體分析）測量系統.用於檢測真空系统或密封器件内部氣體成分及含量。
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